DLC成膜に向けた準大気圧グロー放電プラズマの特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-D-p1-1

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 小倉匡貴 (兵庫県立大学),菊池祐介 (兵庫県立大学),大坪陽 (兵庫県立大学),西村芳美 (兵庫県立大学),永田正義 (兵庫県立大学),八束充保 (兵庫県立大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| DLC

PDFファイルサイズ: 309 Kバイト