マイクロ波励起水中気泡内プラズマの放電開始電力低減化に関する検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-D-p1-2

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 北野卓也 (金沢大学),伊藤卓也 (金沢大学),鈴木宏明 (金沢大学),石島達夫 (金沢大学),田中康則 (金沢大学),上杉喜彦 (金沢大学),西山聖 (大阪市立大学),堀邊英夫 (大阪市立大学)

キーワード: プラズマ| レジスト除去| 低環境負荷プロセス

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