N2/Ar混合ガス雰囲気下におけるペニング型ハイパワーパルススパッタリングプラズマの電子エネルギー分布

カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-D-p1-3

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 楠橋悠真 (兵庫県立大学),東欣吾 (兵庫県立大学)

キーワード: ハイパワーパルススパッタリング| ペニング放電| チタンプラズマ| 電子エネルギー分布| プラズマイオンプロセス

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