ヘリウムプラズマ照射による金属表面上の繊維状ナノ構造成長物理機構に関する実験的・物理的検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-D-p1-5

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 高村秀一 (愛知工業大学),上杉喜彦 (金沢大学)

キーワード: 繊維状ナノ構造| タングステン| ヘリウム損傷| プラズマ-表面相互作用

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