プロセスプラズマに曝された GaN の In-situ モニタリング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-D-p1-6

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 小川大輔 (中部大学),中野由崇 (中部大学),中村圭二 (中部大学)

キーワード: フォトルミネッセンス| 窒化ガリウム| プロセスプラズマ| In-situ Monitoring| Plasma-induced Damage

PDFファイルサイズ: 188 Kバイト