亜鉛-酸素混合プラズマを用いた高機能ZnO透明導電膜の低抵抗化プロセス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-D-p2-2

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 佐藤直幸 (茨城大学),野中翔太 (茨城大学),竹田直樹 (茨城大学),池畑隆 (茨城大学)

キーワード: 混合プラズマ| リモートプラズマ| 金属プラズマ| イオンプレーティング| ZnO透明導電膜| 低シート抵抗

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