窒素プラズマ支援off-axisPLD法によるZnO成膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-F-p2-2

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 和田雅貴 (日本大学),胡桃聡 (日本大学),松田健一 (日本大学),鈴木薫 (日本大学)

キーワード: ZnO| PLD

PDFファイルサイズ: 426 Kバイト