酸化チタンへの窒素プラズマ処理に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-F-p2-3

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 矢澤翔大 (日本大学),新妻清純 (日本大学)

キーワード: 酸化チタン| 窒素プラズマ

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