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バイアススパッタリング法による窒化鉄積層薄膜の生成

バイアススパッタリング法による窒化鉄積層薄膜の生成

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 18-B-a2-2

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 松本恵 (日本大学),新妻清純 (日本大学)

キーワード: スパッタリング| 窒化鉄薄膜

PDFファイルサイズ: 263 Kバイト

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