ラングミュアプローブによる真空アーク金属表面酸化膜除去時の電極間プラズマの測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-D-a1-3

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 伊波周吾 (秋田県立大学),杉本尚哉 (秋田県立大学)

キーワード: 真空アーク| 陰極点| ラングミュアプローブ

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