衝突輻射モデル解析と線強度比測定による低気圧アルゴンプラズマの簡便な電子温度・密度のモニタリングの可能性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-D-a1-5

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 赤塚洋 (東京工業大学)

キーワード: アルゴンプラズマ| プラズマ計測| 発光分光計測| 衝突輻射モデル| 原子過程| 電子温度・密度

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