大気圧プラズマ窒化法における窒化チタン薄膜形成と律速の調査

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-D-a2-4

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 市來龍大 (大分大学),吉光祐樹 (大分大学),三宮竜二 (大分大学),吉田昌史 (静岡理工科大学),赤峰修一 (大分大学),金澤誠司 (大分大学)

キーワード: 大気圧プラズマ| 窒化処理| チタン

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