有機エレクトロニクス製造工程向け除電システムの研究?N2-CF3I混合ガス雰囲気での除電?

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-P-6

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 根本大輔 (茨城大学),賀婉? (茨城大学),松尾武 (茨城大学),佐藤直幸 (茨城大学),岡野一雄 (職業能力開発大学校),池畑隆 (茨城大学)

キーワード: 静電気除電| コロナ放電| イオナイザ| 負性ガス| CF3| 有機エレクトロニクス

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