イオンの電磁加速を用いたＤＬＣ薄膜の生成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-P-12

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 加藤達也 (日本大学),石川有宰 (日本大学),浅井朋彦 (日本大学),平塚傑工 (ナノテック),高津幹夫 (平和電機)

キーワード: 電磁加速| ＤＬＣ薄膜

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