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サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固相合成-第二報
サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固相合成-第二報
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 17-P-42
グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
発行日: 2015/09/17
著者名: 西城要 (茨城大学),國武和広 (茨城大学),笹島良太 (茨城大学),河原航 (茨城大学),高木雄太 (茨城大学),佐藤直幸 (茨城大学),池畑隆 (茨城大学),鵜殿治彦 (茨城大学)
キーワード: 半導体| マグネシウムシリサイド| 薄膜合成| 結晶構造解析| 熱電変換材料
PDFファイルサイズ: 340 Kバイト
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