イオンビームアシスト法により作製したDLC薄膜の電気的特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-P-43

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 井上剛志 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学)

キーワード: DLC| 導電率| 金属添加| プラズマ| イオンビーム

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