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反応性スパッタリング法により作製されたTiO2/NiO/Cu2O薄膜の光触媒効果

反応性スパッタリング法により作製されたTiO2/NiO/Cu2O薄膜の光触媒効果

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 17-P-44

グループ名: 【A】平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/17

著者名: 相馬俊也 (工学院大学),鷹野一朗 (工学院大学),杉本勇介 (工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング| 光触媒| TiO2| 酸化物半導体

PDFファイルサイズ: 210 Kバイト

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