種々の絶縁体からの電子衝撃脱離気体の比較分析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-A-a1-3

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 池田 洵(埼玉大学),山納 康(埼玉大学),Zhang Guan-Jun(西安交通大学),Song Baipeng(西安交通大学)

キーワード: 真空|電子衝撃脱離|真空沿面放電|ガス放出

要約(日本語): 高出力高周波源等の高出力の高周波電界に晒される出力窓で発生するマルチパク
ター放電により、出力窓で貫通やクラックが起きてしまうことが問題となってい
る。このマルチパクター放電には電子衝撃によって発生する脱離気体が関係して
いると考えられている。本研究では無機物と有機物の絶縁体試料に対して真空中
で電子ビーム照射を行い、発生した脱離気体を測定し、比較検討を行った。

PDFファイルサイズ: 407 Kバイト