誘電体材料特性が大気圧He/N2グロー放電基礎特性に及ぼす影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-E-p2-2

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

タイトル：誘電体材料特性が大気圧He/N₂グロー放電基礎特性に及ぼす影響

著者名: 小森 郷平(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

キーワード: 大気圧グロー放電|誘電体シミュレーション|シミュレーション

要約(日本語): 大気圧グロー放電(APGD)は，均一かつ化学的に高活性なプラズマであるため，表面処理や薄膜形成，バイオ・医療分野などへの応用が大いに期待されている．一方で，APGDはアーク放電へ転移しやすく安定性に課題がある．そのため，プラズマの安定性の維持が強く要求されている．本報告では，軸対称３次元流体モデルに基づくシミュレーションにより大気圧He/N₂グロー放電の基礎特性に及ぼす誘電体特性の影響に関して検討を行った．

PDFファイルサイズ: 326 Kバイト