イオン化蒸着法によるダイヤモンド状炭素の成膜と集束イオンビームによるデバイスの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-F-p2-5

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 胡桃 聡(日本大学),大野 貴史(日本大学),高原 裕介(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

キーワード: ダイヤモンド状炭素|ショットキーダイオード集束イオンビーム|集束イオンビーム

要約(日本語): 本研究は，生体親和性に優れるダイヤモンド状炭素（Diamond Like Carbon：DLC）について着目し，イオン化蒸着法による成膜および集束GaイオンビームによるドーピングによってDLCデバイスを作製し，生体情報デバイス・バイオセンサとして応用上の指標獲得を目的としている。本稿では，成膜したDLCのエネルギーギャップや，Ga注入前後の電気抵抗率，各種電極と接触させた際の電気的特性について述べ，作製したダイオードの特徴について説明する。

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