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イオンアシストによるDLC薄膜の基板冷却温度依存性
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 5-F-p2-6
グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
発行日: 2016/09/01
著者名: 井上 剛志(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)
キーワード: DLC|摩擦係数|膜厚|イオンビーム|インピーダンス|低温
要約(日本語): 液体窒素を用いた温度コントロールシステムにより基板冷却温度をマイナス温度に制御しながらイオンアシストによりDLC薄膜を作製し,基板冷却温度が膜の機械的特性・電気的特性に与える影響を調査する。摩擦係数はボールオンディスク形試験機を用いて,相手材にはSi3N4球を用いた。基板温度‐80℃において最も低い摩擦係数0.10を示し,レーザー顕微鏡による相手材摩耗体積量も最も低い値を示した。
PDFファイルサイズ: 1,304 Kバイト
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