TiO2薄膜の光触媒特性における電界印加効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-F-a2-6

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

タイトル：TiO₂薄膜の光触媒特性における電界印加効果

著者名: 相馬 俊也(工学院大学),大平 将(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング|酸化チタン|光触媒|酸化物半導体

要約(日本語): 反応性スパッタリング法により作成した酸化チタン薄膜の光触媒効果の向上を図るため電源電圧2Vの直流電源を印加した。これにより電界印加なしの酸化チタン薄膜と比較したところ向上が確認されたが電界印加を施すことにより膜の剥離が見られた。

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