プラズマ中に曝された窒化ガリウム薄膜から発せられるフォトルミネッセンス光によるダメージ形成過程の分析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-F-p1-3

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 小川 大輔(中部大学),伴野 良継(中部大学),中野 由崇(中部大学),中村 圭二(中部大学)

キーワード: 窒化ガリウム|フォトルミネッセンス|プロセスプラズマ|塩素プラズマ|XPS|In-situ Measurement

要約(日本語): プラズマ中に曝された窒化ガリウム薄膜から発せられるフォトルミネッセンス（PL）光は、プラズマ由来の粒子や電磁波などにより、その強度が逐次変化することがわかっている。これまでの実験によると、アルゴンプラズマは数秒でPL発光強度が減衰し、一方塩素を含むプラズマではPL光の増減が確認されている。今回はその各時間におけるPL光とその時間での構成元素に注目して、これらの関連性について調査した。

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