真空アーク金属表面酸化膜除去時の陰極点の位置と発生するプラズマの関係

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-F-p1-4

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 伊波 周吾(秋田県立大学),杉本 尚哉(秋田県立大学)

キーワード: 真空アーク|金属表面酸化膜除去|ラングミュアプローブ|陰極点

要約(日本語): 真空アークによる金属表面酸化膜除去実験において、陰極である金属平板を挟んで陽極側とその反対側の2点にラングミュアプローブを挿入し、プローブ電流の時間変化を測定した。金属表面酸化膜は、陰極点の作用によりじょきょされるが、測定の結果、陰極点の発生場所により、プローブ電流に特徴的な違いがあることを発見した。特徴的な違いが生じる理由としては、陰極点から放出される電子による影響が考えられる。

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