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高エネルギー密度成膜法により作製したNd-Fe-B系ナノコンポジット磁石膜の特性とターゲット組成の関係

高エネルギー密度成膜法により作製したNd-Fe-B系ナノコンポジット磁石膜の特性とターゲット組成の関係

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-B-a2-3

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 近藤 秀俊(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

キーワード: PLD(Pulsed Laser Deposition)法|Nd-Fe-B|ナノコンポジット磁石膜

要約(日本語): すでに我々はPLD(Pulsed Laser Deposition)法において,ターゲット表面に照射するレーザーのビーム径を絞り,高エネルギー密度下で成膜した際に優れた磁気特性を得られることを示した。本研究では,ターゲットの組成が試料の磁気特性、表面形態、微細構造に与える影響について検討、考察したので報告する。

PDFファイルサイズ: 552 Kバイト

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