PLD法を用い作製したFe-Co系磁性膜の組成転写性と磁気特性に及ぼすレーザエネルギー密度の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-B-a2-4

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 黒崎 陽(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

キーワード: PLD(Pulsed Laser Deposition)|Fe-Co|DF rate

要約(日本語): 我々は，PLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い，様々な永久磁石膜の作製ならびにその磁気特性を評価すると共に，デバイスに応用してきた。その成膜条件の中でエネルギー密度が、ターゲットから膜への組成転写性や試料の磁気特性に及ぼす影響を詳しく検討するために，FeとCoの合金ターゲットを用いた実験結果ならびに考察について報告する。

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