対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子閉じ込め効果定量評価法－衝突事象を加えた評価－

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-D-a1-1

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 山本 達平(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合型プラズマ|対向発散磁界|フィルタ効果|電子運動|モンテカルロ法|電子空間分布

要約(日本語): 誘導結合型プラズマに印加した対向発散磁界の分界面の電子閉じ込め効果解析のため、分界面上下の領域間電子移行をモンテカルロ法により模擬した。従来型判定は電子そのものの分界面通過によったが、今回更に旋回中心の通過と下部領域での電子衝突（ガス分子、壁）を条件に加えた。条件の組み合わせと成立順序を諸種考慮して定量評価を行い、下部領域移行が確実とみなせる底面到達による判定との比較で各判定法の妥当性を検討する。

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