N2ガスを基板近くに導入したArループ型誘導熱プラズマによるTi基板表面の高速窒化試験

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-D-a1-1

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

タイトル：N₂ガスを基板近くに導入したArループ型誘導熱プラズマによるTi基板表面の高速窒化試験

著者名: 田中 康規(金沢大学),入江 寛光(金沢大学),丸山 裕司(金沢大学),Suan Tial Mai Kai(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(シーヴィーリサーチ),川浦 廣(シーヴィーリサーチ)

キーワード: 熱プラズマ|窒化|表面改質

要約(日本語): 筆者らが独自に開発したループ型誘導熱プラズマにより，Ti表面の高速窒化へ適用しうるかを試験した。その結果，1分の照射で長さ６５ｍｍ程度にわたって表面が窒化されることがわかった。

PDFファイルサイズ: 302 Kバイト