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He/O2混合ガスによる短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と表面処理への応用

He/O2混合ガスによる短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と表面処理への応用

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-D-a1-3

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

タイトル:He/O2混合ガスによる短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と表面処理への応用

著者名: 門脇 俊輔(防衛大学校),中野 俊樹(防衛大学校),北嶋 武(防衛大学校)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマ|表面処理|高分子材料|短電圧パルス|狭ギャップ電極系

要約(日本語): ヘリウム酸素混合ガスを用いて短電圧パルス狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマを生成し、ポリエチレンテレフタレート(PET)の表面酸化を行った。 X線光電子分光法(XPS)の結果から、プラズマ照射10 sで表面酸化が生じており、高速な表面酸化プロセスへ適用できることを確認した。プラズマ生成に影響する放電条件について調べ、化学反応性を維持しつつプラズマを安定に生成できる条件を検討した。

PDFファイルサイズ: 288 Kバイト

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