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パルス変調大気圧マイクロ波励起Heプラズマジェットの時分解診断による基礎特性の検討

パルス変調大気圧マイクロ波励起Heプラズマジェットの時分解診断による基礎特性の検討

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 6-D-a1-4

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 大野 常久(金沢大学),猪俣 尚則(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

キーワード: マイクロ波|大気圧非熱平衡プラズマ|発光分光計測|時分解|プラズマ温度

要約(日本語): 近年,大気圧非熱平衡プラズマ(APP)が注目されている.APPは低温環境下において化学反応性の高い活性種を生成できることから,材料の表面処理や医療などの分野において研究開発が盛んである.APP生成法の一つに大気圧マイクロ波プラズマジェット(AMPJ)がある.AMPJは熱プラズマ化しやすいため、抑制する必要がある.本研究では、ガス温度を制御するためパルス変調を行った時のガス温度に関して、プラズマ時分解分光診断を行ったので報告する.

PDFファイルサイズ: 370 Kバイト

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