誘電体バリア放電による窒化パターニングの可能性の検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-P-10

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 喜多村 圭一(大分大学),市來 龍大(大分大学),津留 卓斗(大分大学),赤峰 修一(大分大学),金澤 誠司(大分大学)

キーワード: 誘電体バリア放電|窒化処理|大気圧プラズマ|パターニング

要約(日本語): 窒化とは、金属の耐摩耗性や耐疲労性の向上に効果がある表面硬化法で、金型や金属部品に用いられる。我々は誘電体バリア放電による窒化処理の原理実証を行った。処理は大気圧下で、動作ガスに窒素、水素、アルゴンを用いた。試料には熱間工具鋼SKD61を用い、処理温度530℃で2時間処理した。結果として、約1100Hvの窒化層が約50μm得られた。また、処理範囲と母材の境界の調査を行い、窒化パターニングの可能性を調査した。

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