酸化物半導体薄膜で構成された温湿度センサの特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-P-39

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 川口 天文(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング|酸化物半導体|光励起|抵抗温度係数

要約(日本語): 酸化物半導体薄膜で構成された温湿度センサの開発を目指し，その基礎研究としてTiO₂薄膜の電気的特性，温湿度特性を検討した。更に，高感度センサとして積層型TiO₂/NiO/Cu₂O薄膜についても同様に検討した。単層のTiO₂薄膜より，積層型TiO₂/NiO/Cu₂O薄膜は光励起が顕著であり，抵抗温度係数が大きいため，温湿度センサに適している。しかし，湿度に対する特性が劣る。

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