誘電泳動による金属ナノ粒子の捕集および三次元マイクロ構造体作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-P-53

グループ名: 【A】平成28年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2016/09/01

著者名: 澁谷 泰一(芝浦工業大学),林 秀臣(芝浦工業大学),石井 保行(量子科学技術研究開発機構),片岡 良介(首都大学東京),中河原 僚介(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),西川 宏之(芝浦工業大学)

キーワード: 金属ナノ粒子|誘電泳動|三次元マイクロ構造体|集束陽子線描画|高アスペクト比|センサ

要約(日本語): 　誘電泳動という電気的手法を用いて、金属ナノ粒子からなる三次元マイクロ構造体の作製を行った。集束陽子線描画を用いてポジ型レジストに作製した高アスペクト比のピット内に、金属ナノ粒子を捕集することによって、三次元のマイクロ構造体作製を可能とした。ナノ粒子からなる構造体は、その表面積の増大により、小型で高感度の応答性を持つバイオセンサやガスセンサへの応用が期待される。

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