多次元マルチフィジックスRFシースモデル

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-F-a2-5

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 伝宝 一樹(東京エレクトロン),白藤 立(大阪市立大学)

キーワード: 容量結合性プラズマ|シースモデル|高周波|多次元|マルチフィジックス

要約(日本語): 単周波および二周波CCP中の任意表面形状周りに形成されるrfシースの非線形運動を，短時間で非定常計算可能な多次元rfシースモデルを開発した．低周波におけるイオン密度の振動，不均一なプラズマ密度分布，誘電体表面における帯電，ガス流，反応，イオンの入射エネルギー・角度分布計算等，多くの物理と連成可能である．これらは，プラズマ装置設計・開発への実用において，シースを忠実に再現するために必要な機能である．

PDFファイルサイズ: 384 Kバイト