対向発散磁界下誘導結合型プラズマ中の電子エネルギー分布（3）　－分界面近傍の位置により区別した電子エネルギー分布の比較－

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-E-a1-1

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 山本 達平(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合型プラズマ|フィルタ効果|モンテカルロ法|対向発散磁界|電子運動|電子空間分布

要約(日本語): 誘導結合型プラズマに印加される対向発散磁界の分界面の電子閉じ込め効果解析のためAr中電磁界下の電子運動をモンテカルロ法により模擬した．これまでに検討した閉じ込め効果定量評価のための領域移行判定基準を用い，円筒座標系で分解面上下・共鳴磁界域内外での電子エネルギー分布を解析した．さらに分解面の半径毎にその上下領域で電子エネルギー分布を比較し，径方向位置別の分界面通過電子エネルギー選択性の違いを観察する．

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