対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中電子エネルギー利得の位相分解解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-E-a1-2

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 中島 克博(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合型プラズマ|対向発散磁界|モンテカルロ法|電子運動|エネルギー利得|周方向速度指向性

要約(日本語): 電子閉じ込め効果を持つ対向発散磁界下の誘導結合型Arプラズマの励起源付近側壁際の高エネルギー利得機構を解析するため，電磁界下の電子運動をモンテカルロ法により模擬した．単電子運動を追跡することで，gradBドリフト運動中の電子が側壁と衝突することで起きる加速フェーズの継続現象とエネルギー利得機構の関連性を検討した．また，エネルギー利得を位相分解することでエネルギー利得と速度の周方向成分の位相依存性が互いに関連していることを観察した．

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