二重シャッタードリフト装置によるC3F8ガスの電子輸送係数測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-E-a2-2

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

タイトル：二重シャッタードリフト装置によるC₃F₈ガスの電子輸送係数測定

著者名: 山口 大地(室蘭工業大学),川口 悟(室蘭工業大学),高橋 一弘(室蘭工業大学),佐藤 孝紀(室蘭工業大学)

キーワード: 二重シャッタードリフト装置|電子ドリフト速度|実効電離係数|Arrival Time Spectra(ATS)法|縦方向拡散係数|C₃F₈

要約(日本語): 二重シャッタードリフト装置を用いてE/N=300Td?4000TdにおけるC₃F₈ガス中の電子到着時間分布を測定するとともに，ATS解析により電子ドリフト速度，縦方向拡散係数および実効電離係数を算出した．電子ドリフト速度および縦方向拡散係数はE/N=300Td?500Tdの間で従来の測定値におおむね一致し，E/N=700Td?4000Tdの範囲において新たな測定値を得ることができた．

PDFファイルサイズ: 200 Kバイト