ZnO上マイクロギャップ放電における放電形態の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-E-p2-4

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 谷 直樹(兵庫県立大学),岡田 翔(兵庫県立大学),上野 秀樹(兵庫県立大学)

キーワード: マイクロギャップ|沿面放電|ZnO|三重点

要約(日本語): ESD(静電気放電)保護デバイスにはその動作原理に放電現象を用いたものがある．本研究では，保護デバイスの新たな動作原理として固体･気体･電極の三重点およびμギャップによる高電界化を利用した放電現象を用いることを考えている．一般に固体上電極間ではその三重点から沿面放電が生じるがμギャップでは放電の起点，進展経路の詳細は報告が少ない．そこで，種々の電極構成における放電現象を比較することでそれらを検討した．

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