アルミナセラミックスにおけるメタライズ層端部の状態が真空中沿面放電特性に及ぼす影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-E-p1-1

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 京須 亮太(埼玉大学),山納 康(埼玉大学),浅利 直紀(東芝),塩入 哲(東芝),市川 貴善(東芝)

キーワード: 真空|沿面放電|アルミナセラミックス|メタライズ層

要約(日本語): 真空機器において，メタライズ技術が用いられているが，メタライズ端部におけるメタライズ層とアルミナの境界部が電気的弱点となり問題となっている．本研究では，3種類の形状のメタライズを施した円柱型アルミナセラミックス試料において，真空中沿面放電耐電圧の比較，検討を行った．その結果，メタライズ端部がアルミナより内側にある試料のコンディショニングスピードが早くなるという結果が得られた．

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