電極水平対向配置における準大気圧定常ヘリウムアーク放電プラズマの特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-F-a2-1

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 奥村 卓也(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),青田 達也(ユメックス),前中 志郎(ユメックス),藤田 和宜(ユメックス),高村 秀一(愛知工業大学)

キーワード: アーク放電|準大気圧|材料照射|繊維状ナノ構造|熱プラズマ

要約(日本語): ヘリウムプラズマ照射で得られるタングステン表面の繊維状ナノ構造は，完全黒体に近い放射特性を有する等，多様で特異な物性を有する．我々は大気圧近傍下でアークヘリウム放電プラズマを生成・照射し，繊維状ナノ構造を形成する装置を開発している．今回，真空容器内にアーク放電電極を水平対向配置し，ガス圧80kPa，電極間距離400mm，投入電力1.5kWにて準大気圧定常ヘリウムアーク放電を維持することに成功した．

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