準大気圧下における高繰り返しナノ秒パルス放電プラズマの発光分光計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-F-a2-2

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 前川 拓也(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),大坪 陽(栗田製作所),西村 芳美(栗田製作所),永田 正義(兵庫県立大学),八束 充保(兵庫県立大学)

キーワード: 準大気圧|パルスグロー放電|時間分解分光計測|アフターグロー

要約(日本語): 我々はSiC-MOSFETインバータ電源を用いることで，準大気圧下で高繰り返しパルスグロー放電プラズマを生成し，ダイヤモンドライクカーボン（DLC）成膜等に適用している．本研究では，検出器に光電子増倍管を有する可視分光器を用いて，準大気圧高繰り返しヘリウムパルスグロー放電プラズマの時間分解分光計測を実施し，特にアフターグローにおけるHe分子や準安定He原子について調査した．

PDFファイルサイズ: 299 Kバイト