静的準中性プレシースの計算に関する検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-F-a2-4

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 白藤 立(大阪市立大学),伝宝 一樹(東京エレクトロン)

キーワード: プラズマ|シース|プレシース|シミュレーション

要約(日本語): 弱衝突条件を満たすプレシースを含むシース領域の電位分布を簡便に計算する方法を提案する．計算結果は報告されている実験結果と良い一致を示した．この方法によれば，従来のPIC法などの大規模な計算と比較して，低い計算負荷で２次元や３次元のシース構造の計算が可能となり，イオンの入射角などの予測が短時間で可能となる．

PDFファイルサイズ: 253 Kバイト