大電力Ar/CH4/H2誘導熱プラズマ照射による単結晶ダイヤモンド成長に対するトーチ内圧力の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-F-p1-5

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

タイトル：大電力Ar/CH₄/H₂誘導熱プラズマ照射による単結晶ダイヤモンド成長に対するトーチ内圧力の影響

著者名: 別院 利城(金沢大学),荒井 隆志(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),川浦 廣(シー・ヴィー・リサーチ)

キーワード: 誘導熱プラズマ|単結晶ダイヤモンド|ダイヤモンド成長|化学気相蒸着法|熱解離|圧力

要約(日本語): Ar/CH₄/H₂誘導熱プラズマ照射による単結晶ダイヤモンド成長に対して，トーチ内圧力の影響を調査した．熱プラズマプロセスにおいて，圧力は温度や流速などに影響を及ぼす極めて重要な要素である．本報告では，二通りの圧力条件下で単結晶ダイヤモンド基板に熱プラズマを照射した．熱プラズマ照射後のダイヤモンド基板表面を光学顕微鏡およびラマン分光分析により評価した．その結果，より低い圧力条件下で熱プラズマを照射することで，ダイヤモンドが高速に成長することを確認した．

PDFファイルサイズ: 365 Kバイト