ループ型Ar誘導熱プラズマの三次元電磁熱流体解析モデルの構築

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-F-p1-6

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 田中 康規(金沢大学),丸山 裕司(金沢大学),土谷 拓光(金沢大学),藤田 敦士(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),幸本 徹哉(シー・ヴィー・リサーチ),川浦 廣(シー・ヴィー・リサーチ)

キーワード: 熱プラズマ|ループ型誘導プラズマ|3次元電磁熱流体解析|2温度モデル|表面改質

要約(日本語): 筆者らは，ガス温度が比較的高い誘導熱プラズマを材料の大面積表面積処理に応用するために，独自にループ型誘導熱プラズマトーチを開発している．今回このループ型Ar誘導熱プラズマの性状を把握するために，3次元電磁熱流体解析モデルを構築した．これによりループ管内および下流石英箱内の基板ホルダ上における熱プラズマの電子温度・ガス温度分布を検討した．

PDFファイルサイズ: 424 Kバイト