磁化同軸イオン加速法によるポリマー材料へのDLC成膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-F-p1-7

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 小林 大地(日本大学),石川 有宰(日本大学),山田 翔大(日本大学),門脇 聖哉(日本大学),浅井 朋彦(日本大学),平塚 傑工(ナノテック),髙津 幹夫(平和電機)

キーワード: 磁化同軸イオン加速器|DLC|プラズマ|成膜

要約(日本語): 本研究室では磁化同軸イオン加速器を用いたDLC(Diamond-Like Carbon)膜の生成方法の開発を行なっている．本手法の特徴は，低熱負荷，膜厚及び水素含有量の高い制御性，低ドロップレットが挙げられる．本実験では本手法の低熱負荷特性に着目し，耐熱性の低い基材への成膜を目的として，ポリマー材料へのDLC膜の生成を試みた．その結果，基材の溶融は確認されず，成膜されたことを示す基材表面の薄黒い変化と表面粗さの変化が確認された．

PDFファイルサイズ: 911 Kバイト