イオン化蒸着法によるDLCの成膜と熱処理による電気的・光学的特性の改善

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-B-a2-3

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 渡邉 学(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

キーワード: ダイヤモンド状炭素|短波長デバイス|アニール処理

要約(日本語): DLC(Diamond-Like-Carbon)とは，炭素のsp2結合とsp3結合が混在しているアモルファスな炭素材料で，sp2結合とsp3結合の比率を変化することにより，バンドギャップの制御が可能である．よって，短波長デバイスへの応用が期待されている．しかし，紫外バンドギャップ生成が困難，不純物の拡散不足などの問題があげられている．本稿では，DLCのバンドギャップの改善並びに，不純物の拡散を目的とした，アニール処理を行い，DLCの電気的光学的特性の改善を報告する．

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