同軸プラズマガンを用いた合金堆積装置の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-C-a2-5

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 橋口 舞(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学),石川 有宰(日本大学),関口 純一(日本大学),浅井 朋彦(日本大学)

キーワード: 同軸プラズマガン|熱電変換|ホイスラー合金

要約(日本語): Fe₂TiAl系フルホイスラー合金は次世代の熱電変換材料として注目されている．しかし，その結晶構造の複雑さ故に実用化には至っていない．そこで我々が着目したのが同軸プラズマ堆積法である．この手法は，放電によりターゲットとなる金属をイオン化および電磁加速し，プラズマ生成領域から離れた基板上に堆積させるものである．本稿では，同軸プラズマ堆積法による各種金属の堆積における基礎特性について報告する．

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