紫外近接場光照明センサのための誘電体層センサチップの構造最適化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 20-C-a1-1

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 黒田 千愛(早稲田大学),中井 翠(早稲田大学),飯塚 亮太(早稲田大学),大木 義路(早稲田大学),藤巻 真(産業技術総合研究所)

キーワード: 導波モード共鳴|全反射|転送行列法|電界強度|バイオセンサ

要約(日本語): 高効率な紫外近接場光照明センサ実現のため，誘電体層をガラス基板に成膜したセンサチップの構造を最適化した．この結果，高屈折率かつ紫外光吸収が少ない層と低屈折率かつ紫外光吸収が少ない層を，センサチップ最表面付近で光が効率良く全反射される膜厚で成膜することで，紫外近接場光の電界強度が増強されることが分かった．更に転送行列法によりセンサチップ最表面の二乗電界強度を計算し，各誘電体層に最適な材料を選定した．

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