ペニング型大電力パルススパッタリングによるTi-Cuプラズマの放電特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-P-12

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 永井 僚(兵庫県立大学),東 欣吾(兵庫県立大学)

キーワード: スパッタリング|パルス放電|ペニング放電|チタンターゲット|銅ターゲット|プラズマイオンプロセス

要約(日本語): ペニング型大電力パルススパッタリング装置は小型で高い電離度の金属プラズマ源である．プラズマは対向するギャップ長10 mmの金属ターゲット間に生成される．磁場はターゲットに対しては垂直に配置される．今回，異なる材質（チタン及び銅）のターゲットを用いてパルス状の金属プラズマを発生させた．パルス幅80 ?sのパルス電圧を印加したときチタン-銅ターゲットの平均電力はチタンと銅の中間の値をとった．

PDFファイルサイズ: 538 Kバイト