DLC成膜用Ar/CH4プラズマの診断 －プラズマ基礎特性のガス流量依存性－

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-P-15

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 大野 祐也(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

キーワード: プラズマCVD|ダイヤモンドライクカーボン|質量分析

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(以下DLC)膜は硬さや耐食性等に優れていることから，切削工具やペットボトル等の表面処理に利用されている．またペットボトルの表面処理では炭化水素ガスを原料としたプラズマCVD法による成膜が主流であるため，炭化水素プラズマの諸特性を理解する必要がある．本報告ではDLC成膜用容量結合型RF Ar/CH4プラズマの診断を行い，ガス流量が本プラズマ諸特性に及ぼす影響を調査したので，その結果を報告する．

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